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旋片式機(jī)械真空泵的工作原理

發(fā)布時(shí)間:2016年01月13日 10:59   閱讀:5203   返回   來源:澤德
  旋片式機(jī)械泵主要由泵體和電動(dòng)機(jī)兩個(gè)部分組成。泵體內(nèi)有一圓柱形空腔,整個(gè)空腔放在油箱內(nèi)??涨簧涎b著進(jìn)氣管道和出氣閥門,空腔內(nèi)有一偏心安裝的圓柱形轉(zhuǎn)子,由泵體外的電動(dòng)機(jī)帶動(dòng)旋轉(zhuǎn)。轉(zhuǎn)子上開有兩個(gè)槽,槽內(nèi)安放兩個(gè)旋片,旋片間有一彈簧,當(dāng)轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)時(shí),兩旋片的頂端始終頂著空腔的內(nèi)壁滑動(dòng),形成旋片與空腔內(nèi)壁之間的動(dòng)密封。
  旋片旋轉(zhuǎn)時(shí)幾個(gè)典型的工作位置。在旋轉(zhuǎn)過程中,旋片將空腔和轉(zhuǎn)子間構(gòu)成的彎月形體積劃分為兩部分(有時(shí)是3部分):一部分是連通出口閥門的排氣空腔;另一部分是連通進(jìn)氣管道的吸氣空腔。在吸氣的同時(shí)把上一工作周期內(nèi)吸人的氣體逐步壓縮。示吸氣截止(這時(shí)吸氣空腔為最大),將開始?jí)嚎s。吸氣空腔另一次吸氣,排氣空腔繼續(xù)壓縮。排氣空腔內(nèi)的氣體,已被壓縮到壓強(qiáng)大于一個(gè)大氣壓,因此它能將排氣閥門打開而逸出到大氣中,吸氣空腔開始下一次吸氣。如此往復(fù)循環(huán)。
  工作時(shí),轉(zhuǎn)子帶著旋片不斷旋轉(zhuǎn),就有氣體不斷排出完成抽氣作用。轉(zhuǎn)子的轉(zhuǎn)速一般為450~1400r/min。如果轉(zhuǎn)子轉(zhuǎn)速越快,則抽速越大,但在高的轉(zhuǎn)速下泵內(nèi)溫度較高,保證密封較為困難。為保證在排氣和吸氣空腔間不漏氣,采用蒸氣壓較低而又有一定黏度的機(jī)械泵油作密封填隙。泵油的另外3個(gè)作用是潤(rùn)滑、散熱和幫助在排氣量很低時(shí)打開出口閥門。機(jī)械泵油通過專門的油路進(jìn)人泵腔內(nèi)。因此,這種泵也稱為油封旋轉(zhuǎn)機(jī)械泵。
  上述單級(jí)泵一般能獲得的極限壓強(qiáng)P約為1Pa,這主要受限于轉(zhuǎn)子與空腔接觸部位密封處的漏氣,漏氣量正比于密封部位兩側(cè)的壓強(qiáng)差。單級(jí)泵的這個(gè)壓強(qiáng)差為一個(gè)大氣壓。為了降低這個(gè)壓強(qiáng)差以提高極限真空度,旋片機(jī)械泵一般都采用雙級(jí)泵結(jié)構(gòu)。兩泵串聯(lián)并同轉(zhuǎn)速、同方向旋轉(zhuǎn),前級(jí)泵處于吸氣位置時(shí),后級(jí)泵正好在排氣,這樣就降低了后級(jí)泵轉(zhuǎn)子與空腔接觸部位密封處的壓強(qiáng)差。
  雙級(jí)泵能達(dá)到的極限壓強(qiáng)約為10-2Pa數(shù)量級(jí),它主要取決于泵油的飽和蒸氣壓強(qiáng)以及使用過程中油被沾污和裂變的情況。雙級(jí)泵結(jié)構(gòu)主要用來改善泵的P值,對(duì)泵的最大抽速無幫助,但由于改善了漏氣,故能提高低壓強(qiáng)下的抽速。
 

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