羅茨真空泵的工作原理及特點

　　羅茨真空泵是一種無泵內(nèi)壓縮的旋轉(zhuǎn)變?nèi)菔秸婵毡茫脙蓚€轉(zhuǎn)子在泵殼中旋轉(zhuǎn)而產(chǎn)生吸氣和排氣作用。普通羅茨真空泵不能直接把氣體排到大氣中，必須和前級真空泵串聯(lián)使用，在配用油封式旋轉(zhuǎn)機械泵作為前級泵的情況下，羅茨真空泵的極限真空可以小于1Pa。直排大氣羅茨泵可以直接排氣到大氣中，獨特的結(jié)構(gòu)使此種泵的最大允許壓差可達(dá)88kPa，既可單獨使用，也可多臺串聯(lián)使用，還可與普通羅茨泵等其他種類的泵組合使用，提高真空機組的全程抽速。

　　羅茨泵的特點如下。

　　(1)轉(zhuǎn)子與泵體、側(cè)蓋之問有間隙，互不接觸，無須用潤滑油，因而泵腔內(nèi)容易獲得無油真空。

　　(2)轉(zhuǎn)子具有良好的幾何對稱性，可以提高轉(zhuǎn)速，從而能夠制造出結(jié)構(gòu)緊湊的大抽速泵來。泵的運轉(zhuǎn)也比較平穩(wěn)，振動小。

　　(3)在泵腔內(nèi)不發(fā)生如油封式旋轉(zhuǎn)機械泵那樣的壓縮現(xiàn)象，因此不需要排氣閥，可以抽除可凝性蒸氣。

　　(4)啟動快，能在短時間內(nèi)達(dá)到極限真空，功率小，運轉(zhuǎn)維護費用低。

　　(5)泵在很寬的壓力范圍內(nèi)(1～1000Pa)有很大的抽速，能迅速抽除突然放出的氣體，彌補了擴散泵和油封機械泵在此范圍時抽速都很小的缺點。因此最適合作增壓泵用。

　　羅茨真空泵前級泵的極限真空高低直接影響整套機組的極限真空，因此需要根據(jù)工作壓力來選擇前級泵。

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