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低溫泵的類(lèi)型及主要性能

發(fā)布時(shí)間:2016年03月16日 09:06   閱讀:4621   返回   來(lái)源:澤德
  低溫泵是根據(jù)氣體凝聚、低溫吸附、低溫捕集或吸氣而獲得真空的原理制成的。
  1.根據(jù)泵的工作壓力,可分為用于連續(xù)流范圍的低溫泵,用于分子流范圍的低溫泵,通常為冷凝泵再加上一吸附級(jí)或一低溫捕集級(jí)。
  2.根據(jù)冷卻方式,可分為儲(chǔ)槽式低溫泵、蒸發(fā)式低溫泵和制冷式低溫泵等類(lèi)型。其中,儲(chǔ)槽式低溫泵和蒸發(fā)式低溫泵均使用液態(tài)制冷劑進(jìn)行制冷,冷卻屏蔽面常用液體氮,而低溫面常用液氦或氣氦進(jìn)行制冷。由于液氫的易燃、易爆性,加上價(jià)格較高,盡管它的蒸發(fā)焓比液氦高,仍然很少使用。
  制冷式低溫泵的制冷機(jī)常用吉福德.麥克馬洪型(簡(jiǎn)稱(chēng)G.M制冷機(jī))和斯特林型(簡(jiǎn)稱(chēng)St制冷機(jī))。對(duì)于大抽速的制冷式低溫泵,可以采用液氦溫度級(jí)的制冷機(jī),并設(shè)置J-T閥,組成液體循環(huán)制冷裝置,有時(shí)還利用液體儲(chǔ)槽或氮液化機(jī)中的液氮來(lái)冷卻擋板和屏蔽面。
  低溫泵的主要性能
 ?、俦瘸樗俑?,勝過(guò)其他所有類(lèi)型的泵。
 ?、谕庑螞](méi)有限制,既可浸入真空室內(nèi),也可用法蘭盤(pán)固定在真空室外壁上。
  ③可以提供完全清潔的真空,對(duì)真空系統(tǒng)沒(méi)有污染。
  ④可以獲得極低壓強(qiáng)的真空度,如10-12Pa以下。而且,低溫泵的運(yùn)行可靠,且抽速比較大時(shí),其投資的運(yùn)行費(fèi)用都比傳統(tǒng)的真空泵低,易實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化。

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