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油擴散泵抽氣系統(tǒng)及其操作注意事項

發(fā)布時間:2016年04月25日 09:14   閱讀:5478   返回   來源:澤德
  擴散泵、冷阱、閘板閥和機械真空泵是真空系統(tǒng)的主要零件。對設計合理的系統(tǒng)來說,清潔的真空室在不烘烤的情況下,一般可達到2×10-4~5×10-4Pa的壓力。真空系統(tǒng)中主要的氣體負載是水蒸氣。真空室內(nèi)各零部件,在烘烤初時放出的氣體中的絕大部分是水蒸氣。為了快速抽除這些水蒸氣,在真空泵的上方.或者在真空室內(nèi)設置一個液氮冷阱,就能達到這一目的。而所配的液氮冷阱對水蒸氣抽速可高達4000L/s。顯然,液氮冷阱的設置,也可大大降低油蒸氣的返流率。在對油蒸氣返流率要求不高的場合下,降低返油率的最簡單的辦法是采用高質量的泵液,或者在擴散泵的進口處設置一個水冷障板就行了。
  在這系統(tǒng)中,僅用一臺機械泵。它既用于粗抽真空室,又用作擴散泵的前級泵。因此,在系統(tǒng)上分別設置了前級管道閥和粗抽閥。當機械泵用作粗抽時,應將前級管道閥關閉,如果粗抽時間在15min以內(nèi),而前級管道內(nèi)的壓力升高又不明顯的話,這種布置是允許的。
  裝在粗拙管道上的熱傳導規(guī),是用來檢查機械泵的空載壓力的。第一個電離真空規(guī)是接于真空室的,以正確反映翅空竄內(nèi)的壓力;第二一個電離兵空規(guī)安放在冷阱和閘板閥之間,用于監(jiān)測擴敞象的空載壓力,也用來識別擴澈泵工作性能的好壞。
  設置檢漏儀接口,利用這個接口可以在系統(tǒng)工作時,把檢漏儀接在系統(tǒng)上,為對真空室、阱和擴散泵等的檢漏捉洪最高的靈敏度,和最快的響應時間。粗抽管道上裝了捕集阱后,粗抽管道就不會被機械泵液所沾污了。機械泵的放氣閥應設在捕集阱的上方,以便在機械泵每次放氣時,可把蒸氣從真空事處排走。放氣沖洗閥,分別用于對液氮阱和真空室的沖洗。
  這系統(tǒng)操作時應注意幾點:
 ?、贋榱朔乐箼C械泵油的返流,工作室的粗抽,只能抽至壓力勾1 5Pa時為止。到此壓力后應關閉糧抽閥,并經(jīng)一段延時后,打開高真空閥。
  ②系統(tǒng)的停機開始于關閉高真空閥,井使液氮冷阱升溫,讓擴散泵拙走由液氮冷阱所放出的氣體和蒸氣。如果讓冷阱自然地與周圍環(huán)境達到平衡,則視冷阱的結構不同,需要4~20h。用于燥氮氣吹液氮貯罐,可使這一時間大大縮短。當冷阱溫度達到0℃時,就可切斷擴散泵電源。在擴散泵冷卻到50 ℃時,關閉前級管道閥門,這時就可關掉機械泵并放氣。切不可在前級管道閥門尚未關閉時,就對機械泵放氣。因為這將使大量機械泵油蒸氣帶入擴散泵。最后,應把擴散泵的冷卻水關掉;③啟動系統(tǒng)時,首先要將冷卻水通入擴散泵外套,然后接通機械泵電源,在把粗抽管道里的氣體抽至某一壓力,如100Pa之后.就可打開前級管道閥門,并對擴散泵加熱器通電加熱。待擴散泵正常工作后,對液氮冷阱注入液氮,也可在擴散泵尚未正常工作之前灌以液氮,并關閉前級管道閥,使機械泵對真空室進行粗抽至l 5~20Pa后,即關閉粗抽閥,稍經(jīng)延時后,先接通前級管道閥,最后就可打開高真空閥了。
  ④即使對一個設有液氮冷阱的真空系統(tǒng),在經(jīng)常啟動和關閉系統(tǒng)后,會有少量的油蒸氣沾污在冷阱的上方,甚至高真空室內(nèi)。為此可采用這樣的沖洗辦法:切斷真空系統(tǒng)中擴散泵電源,使液氮冷阱升溫,用一定量的干燥氮氣流注入真空室,這干燥氮氣流決定于前級機械泵的大小,以使前級管道內(nèi)壓力保持在25Pa左右為宜。這25Pa壓力的氮氣流會使早先吸附在冷阱上方及真空室內(nèi)壁上的油蒸氣脫附出來,又不至于使機械泵油返流到前級管道中去。當需要再次使用系統(tǒng)時,關掉沖洗氣體,啟動擴散泵、冷卻冷阱即可。如用這種簡單技術來啟動和停掉真空系統(tǒng),可節(jié)約大量電能、液氮和冷卻水。
 

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