分子泵的結(jié)構(gòu)原理及發(fā)展
發(fā)布時(shí)間：2016年05月31日 09:55 閱讀：5261
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澤德
分子泵從結(jié)構(gòu)上看是屬于機(jī)械泵一類，但是其作用原理卻與一般的機(jī)械泵完全不同。
分子泵的工作原理是建立在氣體壓強(qiáng)已屬分子流范圍，因此，分子泵工作時(shí)都帶有抽預(yù)真空的前置真空泵。
最早的分子泵是利用高速旋轉(zhuǎn)的轉(zhuǎn)子，給予與之相碰撞的氣體分子以動(dòng)量，將氣體分子驅(qū)向出口處，再由前置泵抽除。這種分子泵的抽速不大，現(xiàn)在已很少可見(jiàn)到。
從五十年代來(lái)到現(xiàn)在，已出現(xiàn)一種完全新型的分子泵-渦輪分子泵。
渦輪分子泵的工作原理是基于氣體分子在分子流狀態(tài)下的傳輸幾率。早期的結(jié)構(gòu)是臥式的，六十年代末發(fā)展了結(jié)構(gòu)更加簡(jiǎn)單、緊湊和振動(dòng)小等特點(diǎn)的立式渦輪分子泵。
渦輪分子泵主要由泵體(定子)和轉(zhuǎn)子組成，轉(zhuǎn)子上裝有幾組一定幾何形狀的葉片，泵體上裝有幾組相應(yīng)的葉片，每組葉片構(gòu)成一個(gè)工作級(jí)。轉(zhuǎn)子上的動(dòng)葉片和泵體上的靜葉片間具有很小的間隙。當(dāng)轉(zhuǎn)子被電機(jī)拖動(dòng)作高速旋轉(zhuǎn)時(shí)(轉(zhuǎn)速可達(dá)10000-60000轉(zhuǎn)/分)，被抽氣體從入口處逐級(jí)壓縮，最后壓縮到出口處由前置真空泵抽走。
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